微波电子回旋共振等离子体CVD设备

发布于 2026-10-17 13:59:00 931 阅读

微波电子回旋共振等离子体CVD设备

微波电子回旋共振等离子体CVD设备是由清华大学电子工程系完成的科技成果，登记于1993年10月31日。

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