
双面精研机(英文名:double-side polishing machine,别名:双面研磨机)是用于硅片、石英晶体、玻璃、陶瓷、蓝宝石、砷化镓、铌酸锂等片状材料以及阀板、阀片、光导纤维、计算机储存盘等金属/非金属零件的双面精密加工工业设备 。其采用四驱动双面精研技术,通过行星轮系差动结构实现工件自转与公转复合运动,配备无级调速系统和气缸加压装置避免工件变形。设备集成研磨盘自动平面修正功能,可适配金刚石磨盘提升加工洁净度。该设备核心结构包含上下研磨盘、工件行星轮及差动轮系,研磨压力可调节 。国内研发机构涉及浙江工业大学、长春理工大学等单位,研制机型涵盖高速平面研磨机及纳米级抛光机 。发展趋势聚焦化学机械抛光、磁性复合流体抛光等复合加工技术,并向数字化、智能化方向升级 。国际厂商包括英国Logitech、日本Hitechnoth等,典型设备PM5系列可实现1µm级研磨盘平面度自动修正 。
想要了解更多“双面精研机”的信息,请点击:双面精研机百科
