光刻

发布于 2026-10-02 11:29:00 901 阅读

光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔，以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。

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标签：光刻,光刻,技术,准分子

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