SF1.4工艺是三星公司研发的1.4纳米级先进半导体制造工艺，于2022年在三星晶圆代工论坛上首次揭晓 。
该工艺将采用全环绕栅极技术，并计划将纳米片数量从3个增至4个以改善性能与功耗 。三星还计划在SF1.4工艺中采用背部供电技术 。根据三星最初公布的路线图，该工艺是继其2纳米工艺后的下一代先进节点，原计划于2027年实现量产 。但后续量产计划多次调整，三星在2026年确认计划于2029年实现该技术的量产，其改进版本SF1.4 则将在2030年面世 。
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