TF-SAW滤波器是一种薄膜声表面波滤波器技术 。村田制作所于2016年推出首颗TF-SAW产品，并于2018年业界首次推出该新工艺SAW，并称其为IHP SAW 。它通过在压电基板层下方增加功能层和载体衬底来减少能量耗散，使表面声波的能量聚焦在衬底表面上。在1.9GHz频段，其谐振单元Qmax可达3000以上，传统SAW滤波器的Qmax通常低于此数值；其温度系数可控制在±8ppm/°C以内，传统SAW和普通BAW滤波器的温度系数一般高于此范围 。该技术工作频率覆盖800MHz-3.5GHz 。
村田制作所和高通组成了TF-SAW阵营 。全球能量产TF-SAW滤波器的厂商包括村田制作所和高通等 ，国内企业如天通瑞宏、星曜半导体、新声半导体等也已实现TF-SAW滤波器的大规模量产 。除星曜半导体外，芯投微、麦捷科技等国内企业也在进行TF-SAW滤波器的研发与客户导入工作 。2025年4月，株式会社村田制作所在中韩两国对江苏卓胜微电子股份有限公司发起专利侵权诉讼，指控其MAX-SAW滤波器侵犯了村田的五项核心专利 。
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