套准开，又称套准精度（Overlay），是指微影制程中当前层与前层之间的叠对精度，如果微影制程的套准精度超过误差容忍度，则层间设计电路可能会因为位移产生断路或短路，从而影响产品良率。
想要了解更多“套准开”的信息，请点击：套准开百科
套准开
相关文章
套准开，又称套准精度（Overlay），是指微影制程中当前层与前层之间的叠对精度，如果微影制程的套准精度超过误差容忍度，则层间设计电路可能会因为位移产生断路或短路，从而影响产品良率。
想要了解更多“套准开”的信息，请点击：套准开百科
