黄光室，也称黄光区或黄光制程实验室，是半导体制造、印制电路板制造等领域中进行光刻工艺的核心区域 。该区域采用特定波长（约570-590nm）的黄色光源照明，旨在避免光刻胶等感光材料因接触短波长光线而发生意外曝光 。黄光室广泛应用于集成电路、平板显示、MEMS微细加工及精密光学制造等涉及光刻的环节 。其环境要求严苛，需维持高洁净度（如Class 10-Class 1000）、控制温湿度，且人员需穿戴防静电无尘服作业 。
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黄光室
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