羲之是一台国产商业电子束光刻机，由浙江大学余杭量子研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机，取名自书法家王羲之。 其精度达到0.6nm，线宽8nm，无需掩膜版即可灵活修改设计，专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，适用于芯片原型开发、掩膜版制造及小批量试制。 该设备已正式通过应用测试，具备量产能力。
“羲之”外观酷似大型钢柜，其核心系统包括电子枪、电磁透镜组及高精度定位系统，可实现最小1.9nm的束斑与0.1nm的步长移动精度。 它通过高能电子束在硅基上直写电路，适合研发与小批量生产，其加工效率低于用于大规模量产的光学光刻机。
想要了解更多“羲之（全国首台国产商业电子束光刻机）”的信息，请点击：羲之（全国首台国产商业电子束光刻机）百科
