电子特气是纯度高于99.99%的电子级气体，属于电子化学品领域的核心材料，在半导体产业链中被称为“粮食”和“源”，其纯度、洁净度直接影响芯片性能与良率 。电子特气广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂等关键工艺环节，同时在显示面板、光伏、LED、光纤通信等领域发挥重要作用 。我国电子特气行业始于20世纪70年代 。自2009年以来，国家多部门出台政策支持产业国产化。截至2025年，在下游市场需求拉动与国家政策扶持下，我国电子特气国产化率已突破85%，部分产品已进入台积电、三星等国际供应链 。电子特气多具有毒性、易燃性或腐蚀性，其生产、储存、运输和使用需遵循严格的安全规范 。
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