CMP材料

CMP材料

CMP材料是用于化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing/Planarization, CMP)工艺的关键耗材,该工艺是半导体制造中实现晶圆表面全局平坦化的核心技术。CMP材料是一个系统组合,主要包括抛光液(Slurry)和抛光垫(Pad)等核心组件,分别占据抛光材料成本的主要部分 。

随着半导体制程节点向纳米级推进,CMP材料的应用从前道晶圆制造拓展至先进封装等后道环节 。其市场规模,2024年全球约85亿美元,2026年全球约42亿美元(中国市场约80亿元人民币) 。国际企业长期主导市场,中国企业如安集科技、鼎龙股份等已在部分领域实现国产化替代 。

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